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Product
HIWIN 晶圆机器人
产品描述:
特征

软硬件垂直整合优势,并且采用高精密,高刚性直驱马达,重复精度达±0.02mm,回转半径小,空间使用率高。



应用

适用于半导体产业(晶圆取放)、光电产业(小型面板、小型太阳能板)、LED产业(蓝宝石基板、胶环)等取放设备。

項目 規格
Z軸 行程 500mm
速度 250mm/s
T軸 運轉範圍 0゜~340゜
角速度 250゜/s
R軸 行程 420mm
速度 750mm/s
重量 Approx. 48kg
潔淨度 ISO Class 2(ISO 14644)
壽命 60,000hrs
頂部安裝板 290x290 mm2
工作環境 10~40℃
重覆精度 ±0.02 mm
載重能力 0.5Kgf
系統通訊 RS-232,I/O
真空度 -40kPa ~ -60kPa, O6
電源 Single-Phase AC110V/AC220V

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